在新一代半导体材料中,日本公司又一次走在前列——日前Novel Crystal Technology全球首次量产了100mm(4英寸)的“氧化镓”晶圆。
据日本媒体报道,Novel Crystal Technology公司由日本电子零部件企业田村制作所和AGC等出资成立,主要研发、生产新一代半导体技术。
该公司日前量产了以新一代功率半导体材料“氧化镓”制成的100mm晶圆,这还是全球首次。
这次量产的新一代晶圆可以使用原有100mm晶圆的设备制造新一代产品,有效保护了企业的投资,预计2021年内开始供应晶圆。
据介绍,氧化镓的别名是三氧化二镓,氧化镓(Ga2O3)是一种宽禁带半导体,也是一种透明的氧化物半导体材料,在光电子器件方面有广阔的应用前景 ,被用作于Ga基半导体材料的绝缘层,以及紫外线滤光片。
据市场调查公司富士经济于2019年6月5日公布的Wide Gap 功率半导体元件的全球市场预测来看,2030年氧化镓功率元件的市场规模将会达到1542亿日元(约人民币92.76亿元),这个市场规模要比氮化镓功率元件的规模(1085亿日元,约人民币65.1亿元)还要大。
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