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ASML EUV光刻机被批了：100万瓦功耗的电老虎

2022-08-27 21:41:11 来源：快科技 作者：万南 编辑：柠萌皝　浏览：loading

当前，7nm以及更先进芯片制造有赖于ASML的EUV光刻机才能实现，最新款单价高达1.5亿美元，包含10万个部件和长达2公里的布线。

这么一台设备除了价格昂贵、零件繁多、造型庞大等，耗电能力同样不容小觑。

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据媒体披露，当前ASML最新一代EUV光刻机的额定功耗是100万瓦，约是前几代设备的10倍。仅台积电就拥有超过80台EUV光刻机，粗算之下，开机一天的耗电量高达上百万度。

类似地，三星在韩国的6个半导体制造基地去年的总能耗占到集团的3%，未来更多EUV光刻机进厂部署后，这个数字还可能继续提高。

对于芯片制造行业的高耗能问题，业内认为，切换能源类型势在必行，也就是让可再生能源发电的比例提高。

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