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当前标签:DUV
中科院成功研发全固态DUV光源技术:完全不同于ASML
快科技3月25日消息,据悉,中国科学院成功研发除了突破性的固态DUV(深紫外)激光,可发射193nm的相干光,与目前主流的DUV曝光波长一致,能将半导体工艺推进至3nm。
2025-03-25 14:19:10
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