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当前标签:纳米压印光刻机
超越日本!我国第一台纳米压印光刻机正式交付
近日,璞璘科技自主设计研发的首台PL-SR系列喷墨步进式纳米压印设备,顺利通过验收,并交付至国内特色工艺客户,初步完成储存芯片、硅基微显、硅光、先进封装等芯片研发验证。这标志着我国在高端半导体装备制造领域迈出坚实的一步!
2025-08-05 18:10:01
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